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无尘室用LCA设备的机构材料-1(对应无尘室的LCA-8)

  • 2020.03.17 21:43:02
  • 米思米
  • 933

   无尘室用LCA设备的机构材料也是根据无尘化三原则来选定。

 例如:

    a) 不产生污染物的材料=不容易生锈的材料 

    b) 不堆积污染物的材料=不会/难以使之附着污染物的材料

 属于b)时,根据不同的污染原因,有以下附着机理。但1. 2. 3.是主要原因。 

      1. 重力沉降所导致的简单附着・・・为重污染物时 

      2. 范德瓦尔斯力 

      3. 静电性吸引・・・为轻度污染物时。在干燥的大气中摩擦带电所导致的附着 

      4. 表面的水分 

      5. 以油为中介而附着 

   以下,对项目3. 进行说明。

   简易无尘棚具有HEPA过滤器单元的旋转电机,且帘·门会开闭,小脚轮旋转会导致移动等,简易无尘棚存在有这些活动。因此,它会产生摩擦带电和剥离带电。LCA设备也具有驱动部,因此,会产生摩擦带电等。
   将这种带电能量积存在简易无尘棚和LCA设备的构件后,就会出现污染物附着·堆积及静电破坏等问题。绝缘体不会积存静电,但我们无法将全部结构件都采用绝缘体部件。因此,为做到不堆积污染物而需要进行防带电处理,为此所用的材料和材料构成是重要事项。

1)产生带电的有代表性的机制

   产生带电的有代表性的机制有以下两种(【图1】)   

  a)摩擦带电

  b)剥离带电                                                       

                                                                             无尘室用LCA设备的机构材料-1(对应无尘室的LCA-8)

2)防带电所需的机构结构

   将导电性构件和绝缘性构件组装在一起,由此形成设备。此时,在绝缘构件的位置上,静电电流被切断。因此,在绝缘构件的靠身体一侧,就会积蓄有带电能量。这样会产生一个问题,即,这种被积蓄的带电能量将与带电电荷相反带电的悬浮污染物拉过来,由此将污染物附着在设备表面和产品表面上(参照【图2-a))。

   此外,也会导致出现放电所导致的回路受损事故等。因此,要点是要形成不会积存所产生静电的结构和选定合适的构件(参照【图2-b))。

无尘室用LCA设备的机构材料-1(对应无尘室的LCA-8)


   【图3】【图4】是简易无尘棚容易出现带电的部分的说明,并标示出了相应的解决办法事例。

无尘室用LCA设备的机构材料-1(对应无尘室的LCA-8)

无尘室用LCA设备的机构材料-1(对应无尘室的LCA-8)

 

   下一讲也对无尘室用LCA设备的机构材料进行说明。


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