无尘室用LCA设备的机构材料也是根据无尘化三原则来选定。
例如:
a) 不产生污染物的材料=不容易生锈的材料
b) 不堆积污染物的材料=不会/难以使之附着污染物的材料
属于b)时,根据不同的污染原因,有以下附着机理。但1. 2. 3.是主要原因。
1. 重力沉降所导致的简单附着・・・为重污染物时
2. 范德瓦尔斯力
3. 静电性吸引・・・为轻度污染物时。在干燥的大气中摩擦带电所导致的附着
4. 表面的水分
5. 以油为中介而附着
以下,对项目3. 进行说明。
简易无尘棚具有HEPA过滤器单元的旋转电机,且帘·门会开闭,小脚轮旋转会导致移动等,简易无尘棚存在有这些活动。因此,它会产生摩擦带电和剥离带电。LCA设备也具有驱动部,因此,会产生摩擦带电等。
将这种带电能量积存在简易无尘棚和LCA设备的构件后,就会出现污染物附着·堆积及静电破坏等问题。绝缘体不会积存静电,但我们无法将全部结构件都采用绝缘体部件。因此,为做到不堆积污染物而需要进行防带电处理,为此所用的材料和材料构成是重要事项。
(1)产生带电的有代表性的机制
产生带电的有代表性的机制有以下两种(【图1】)
a)摩擦带电
b)剥离带电
(2)防带电所需的机构结构
将导电性构件和绝缘性构件组装在一起,由此形成设备。此时,在绝缘构件的位置上,静电电流被切断。因此,在绝缘构件的靠身体一侧,就会积蓄有带电能量。这样会产生一个问题,即,这种被积蓄的带电能量将与带电电荷相反带电的悬浮污染物拉过来,由此将污染物附着在设备表面和产品表面上(参照【图2】-a))。
此外,也会导致出现放电所导致的回路受损事故等。因此,要点是要形成不会积存所产生静电的结构和选定合适的构件(参照【图2】-b))。
【图3】【图4】是简易无尘棚容易出现带电的部分的说明,并标示出了相应的解决办法事例。
下一讲也对无尘室用LCA设备的机构材料进行说明。